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芯片无尘室的超净服介绍

2023年08月17日16:29 

在芯片生产车间,工作人员通常需要穿着超净服以确保产品的质量和纯度。这种服装的设计主要是为了防止工作人员的身体表面或呼出的空气对微型电子元件的制造环境产生污染。超净服通常被称为Cleanroom Suit" 或者 "Bunny Suit",做半导体制造的小伙伴应该对超净服比较熟悉,但是你确定自己懂它吗?



超净服的历史
超净服,是由英特尔Fab工厂率先提出,其历史可以追溯到1968年。当时的芯片无尘室内工作人员穿着自己的衣物,并且环境并非无菌的。甚至有人会把比萨饼放在扩散炉上烘烤加热。到了1971年,Intel的Fab 2工厂要求员工穿着专用罩衣,但不需要头套或护腿。员工可以把它们带回家洗,这种做法在常规清洁度上可能足够,但却无法防止小颗粒污染微芯片。更严格的清洁服装协议始于1973年,Intel的Fab3工厂普及了我们目前熟悉的现代超净服,并在1980年成为Intel公司的标准,随后在全球范围内流行开来。




超净服的材质
常见材质为聚酯。超净服所用的聚酯材料是一种常见的聚合物,主要由聚酯纤维制成。聚酯是一种大分子聚合物,由酯基连接的单体重复单元组成。酯基是一个化学功能团,由一个羰基(C=O)和一个氧原子(-O-)组成,形式为 -COO-。最常见的聚酯是聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。





以下是聚酯材料的一些主要特性:
1. 耐磨:聚酯是一种非常耐磨的材料,其强度比自然纤维高。
2. 耐化学品:聚酯对大多数常见的工业化学品具有很好的抵抗力,包括酸,碱和有机溶剂。这使得它在需要接触化学品的环境中非常有用。




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